華星光電將采用荷蘭激光沉積設備的新設備向OLED顯示屏上沉積ITO電極。據荷蘭激光沉積設備制造商Solmates消息,其向華星光電(CSOT)出售了一套小型面板(200×200mm)脈沖激光沉積(PLD)設備,將用于武漢的OLED試產線。
Solmates擁有采用脈沖激光沉積實現OLED ITO電極沉積專利,并開發出能在室溫下大面積沉積ITO的技術。脈沖激光沉積可以實現高品質ITO沉積,Solmates表示,實現透明度高于目前的工藝。Solmates的設備將被安裝于自2016年底開始在武漢建設的自動化裝配產線。Solmates將于2017年6月發貨。目前的設備主要用于研發,不過該技術也可以擴展到更大基板以及用于生產系統。
華星光電將采用該設備進行ITO沉積,但也可以配置用于封裝層無機層的沉積,這一流程目前采用PECVD或ALD工藝。
華星光電為TCL子公司,于2015年7月宣布建設武漢6代LTPS工廠。該廠將生產液晶和OLED面板,總投資26億美元。采用激光脈沖沉積法的新研發產線也位于該廠,將用于新技術研發和改善公司的OLED制造工藝。
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