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　　引言

　　有機電致發(fā)光（OEL）器件由于其在平板顯示中的良好應(yīng)用前景而受到廣泛關(guān)注。特別是80年代Tang.C.W報道了兩層的純化小分子薄膜高效率電致發(fā)光有機二極管以及1990年Burroughes報道了聚合物電致發(fā)光后，有機薄膜電致發(fā)光器件的研究迅速發(fā)展。但是一般的有機發(fā)光材料具有很寬的發(fā)光譜帶，譜線的半寬度約100nm，難以獲得高色純度的發(fā)光。想要獲得飽和度很高的全色顯示，可以通過濾色鏡，也可以摻雜窄帶發(fā)光材料并保證寬帶發(fā)光材料輻射的能量有效地傳遞給它，或者采用光學(xué)微腔器件，引入光學(xué)微腔，可以獲得單色性很好的發(fā)光，而且通過合理設(shè)計可以控制發(fā)射波長。1992年Yokoyama提出了用平面微腔結(jié)構(gòu)來改變有機電致發(fā)光薄膜的發(fā)光光譜，窄化光譜寬度，自此有了很多微腔有機發(fā)光的研究。

　　近年來，微腔有機電致發(fā)光二極管被廣泛地用在平板顯示和光互連上，因此，發(fā)光波長可調(diào)的微腔發(fā)光管無疑在這些應(yīng)用中有誘人的應(yīng)用前景。諧振波長是由微腔的光學(xué)厚度決定的，改變折射率或者腔長，都可以實現(xiàn)發(fā)光波長調(diào)諧，但是前者的調(diào)諧范圍很小。本文提出了一種新的基于MEMS（Micro Electro Mechanical System）空氣腔，通過靜電力改變其腔長，而獲得寬波段連續(xù)可調(diào)的微腔電致發(fā)光二極管，對所設(shè)計的結(jié)構(gòu)進行了模擬計算，并作了分析和論證

　　原理

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