上海12月6日電,我國國產的代表國際尖端水平的高亮度LED芯片生產關鍵設備MOCVD(金屬有機化學氣相沉積設備)在正泰集團上海張江理想能源設備有限公司6日成功下線,打破了該領域長期被歐美企業壟斷的局面,國內LED生產成本有望顯著下降｡
MOCVD是高亮度LED芯片生產過程中最關鍵的設備,因設備技術難度高､開發周期長以及國內產業化起步晚等原因,市場主要被歐美企業所壟斷｡
近年來,隨著高亮度LED在戶外顯示､液晶面板背光､汽車應用等領域滲透率的不斷提高,特別是半導體照明市場的啟動,對量產型MOCVD設備的需求呈現出爆發性的增長,全球年需求達數百臺､市場規模數十億美元｡
我國LED外延芯片與封裝在規模和品質上都取得了舉世矚目的成就,產品國產化比例顯著提升,但關鍵裝備特別是量產型MOCVD仍然依靠進口,生產成本居高不下,嚴重制約著LED產業的發展｡因此開發出更高性價比的國產商業化MOCVD設備是海峽兩岸LED外延芯片企業的迫切要求｡
2010年9月,理想能源啟動MOCVD項目,在兩年時間里,理想能源技術團隊設計開發出了具有自主知識產權的MOCVD設備,并完成了第一代單腔體獨立設備和高產出率的簇式生產系統的生產組裝,成功地實現GaN基LED外延片的發光｡
經過設備原型機近1年的運行證明其性能達到預定指標,于2012年5月通過上海市科委的驗收｡依據工藝驗證結果和客戶反饋,在第一代原型機的基礎上開發出第二代量產型MOCVD設備,單腔一次可生產84片2英寸外延片,超過主流進口設備｡
量產機型在產出率､可靠性､運行經濟性等方面都有了顯著的提升,最適合商業量產,該產品已申請20項國內外專利｡
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